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R2R控制系统项目信息: 系统名称最早为Catalyst,是一款APC(advanced process control)软件产品,是半导体企业用来制成控制用的。该软件产品有匈牙利的evosoft和Infineon Technology AG共同完成的(六年前)。系统大致包含如下组件: ·Control Exection Manager(CEM):接受响应控制请求 ·Control Database:存储设置参数,材料数据,机器状态等 ·Control History :存储长期控制活动的历史数据。 ·Document Manager:存储控制策略、计划、脚本等 ·System Manager:安装和控制管理其他组件 ·日志组件 ·Trader:提供系统各组件需要的OMG对象交换服务,例如注册、和客户端在查找所需组件 ·注册组件 但是随着行业竞争的加剧,该公司对系统中采用的昂贵的CORBA技术组建Trader组件重新建行了设计开发,对原来的系统进行了革新,整个系统现在改名为Engage,对数据库操作的保留原来的,但其组件分别用成本更低技术进行了替换。 R2R项目成立原因: 现在的Engage系统中,生产制成的控制器和公用库(ILoopCore)都是通过TCL实现的,现在产线上跑的已经用了很多年,现要用java来替换,而具体的Controller也有可能改为matlab shell来实现。分析原因大致有如下: ·CEM现在也用JAVA来实现,并且JAVA的运行效率较TCL有优势 ·JAVA有较好的开源调试工具,更利于维护,有工艺改进时,java更新开发更快,TCL则只能通过文本编辑器来编辑,出错后只能通过跟踪日至来查错。 ·相对于TCL程序员来说,JAVA程序员更容易招募,且更廉价。 R2R控制系统: R2R控制系统是自动控制中的反馈控制系统,根据反馈控制理论来计算和设置最佳的机器运行状态,软件系统原来有Tcl实现,现改为java技术实现。开发过程中所采用了,log4j、dom4j、POI等开源技术。 典型设备:Etch Cluster-Tool 项目意义: 对于半导体工厂来说,生产成本除了材料外,就是昂贵的机器设备了,相对于机器的维护、折旧费用,产线工人的工资成本是非常小的,所以产线上的设备一般是从不间断一直运行的,如果每一次操作具体操作都能节约5-10秒的话,累计效益是非常巨大的。
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